ISBN 9783843911481

978-3-8439-1148-1, Reihe Mikrosystemtechnik

Florian König
Entwicklung eines paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik auf der Basis von Magnetfeld-Sensoren

163 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2013), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Die Arbeit befasst sich mit der Entwicklung eines Gassensor in Mikrosystemtechnik, der die paramagnetischen Eigenschaften des Sauerstoffs nutzt um dessen Konzentration in einem Messgas zu bestimmen. Das Funktionsprinzip beruht auf der Bestimmung des Sauerstoffgehalts über seinen Einfluss auf ein externes Magnetfeld. Neben Entwurf, Simulation und Herstellung wird auf die Charakterisierung von Prototypen eingegangen.