ISBN 9783843912808

978-3-8439-1280-8, Reihe Mikrosystemtechnik

Hannes Sturm
Miniaturisierte thermische Strömungssensoren auf flexiblem Substrat

254 Seiten, Dissertation Universität Bremen (2013), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Die vorliegende Arbeit setzt sich mit der Realisierung eines miniaturisierten thermischen Strömungssensors auf flexiblem Substrat auseinander. Hierzu gehört neben der Entwicklung des mikrosystemtechnischen Fertigungsprozesses mit vorhergehender Materialauswahl der Aufbau einer Ansteuer- und Auswerteelektronik sowie die Charakterisierung des Gesamtsystems.

Mit Hilfe einer mechanischen Modellierung wurde die material- und prozessbedingte Durchbiegung des flexiblen thermischen Strömungssensors berechnet, da diese direkte Auswirkungen auf die später folgende Aufbau- und Verbindungstechnik hat. In einer weiterhin vorgenommenen thermischen Modellierung des Strömungssensors im Betrieb wurden die Auswirkungen verschiedener Materialparameter auf die messtechnischen Eigenschaften untersucht.

Zur Demonstration der Umsetzbarkeit des entwickelten Technologiekonzeptes wird zum Ende der Arbeit eine konkrete Applikation vorgestellt. Diese umfasst die Integration der entwickelten flexiblen thermischen Strömungssensoren auf einem Tragflügel zur Untersuchung des Strömungsprofils. Ziel hierbei ist, mittels eines Tests im Windkanal einen Strömungabriss am Tragflügel absichtlich zu erzeugen und das Wiederanlegen der Strömung mit Hilfe der Strömungssensoren zu messen.