ISBN 9783843919302

978-3-8439-1930-2, Reihe Ingenieurwissenschaften

Martin Dümling
CMOS-kompatible mikromechanische Hochfrequenz-Resonatoren in einkristallinem SOI-Silizium

165 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2014), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser Arbeit wurde ein Verfahren zur Herstellung und Verkapselung von MEMS-Resonatoren im Vakuum entwickelt, welches eine einfache Integration der Resonatoren in einen bestehenden BIMOS-Fertigungsprozess ermöglicht. Es wurden quadratische Volumenschwinger mit Resonanzfrequenzen von über 160 MHz bei Gütefaktoren zwischen 20.000 und 40.000 hergestellt. Zudem konnte gezeigt werden, dass die zusätzlichen Prozessschritte die elektrischen Eigenschaften der Bauelemente eines BIMOS-Prozesses nicht verändern.