ISBN 9783843943475

978-3-8439-4347-5, Reihe Ingenieurwissenschaften

Patrick Lill
Nicht-Gleichgewichtseffekte beim Laserdotieren von Silizium

174 Seiten, Dissertation Universität Stuttgart (2020), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Diese Arbeit untersucht Nicht-Gleichgewichtseffekte, die Segregation von Dotierstoffen und die selbst-verstärkende Absorption von Laserstrahlung, die beim Laserdotieren beziehungsweise Laserschmelzen von Silizium-Wafern auftreten.

Segregation an der fortschreitenden (Re)-Kristallisationsfront nach Ende eines Laserpulses hat einen entscheidenden Einfluss auf die Konzentrationsprofile beim Laserdotieren.

Das hier entwickelte numerische Simulationsmodell bildet die experimentell gemessenen Bor- und Antimon-Konzentrationsprofile im Silizium für eine Vielzahl von experimentellen Bedingungen in guter Näherung nach.