ISBN 9783843951852

978-3-8439-5185-2, Reihe Anorganische Chemie

Matthias Karl Grosch
Low-melting and Liquefied Metals as New Substrates for Chemical Vapour Deposition of Transition Metal Oxides and Sulphides

190 Seiten, Dissertation Universität Köln (2022), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Die vorliegende Arbeit stellt einen ersten Schritt in das weniger erforschte Gebiet der Gasphasenabscheidung auf geschmolzenen Metallen dar. Übergangsmetallalkoxide wurden genutzt, um in vergleichender Weise den Einfluss von geschmolzenen Metallsubstraten auf die Zersetzungsreaktionen zu untersuchen. Die Rolle der flüssigen Metalle als Substrat und reaktive Komponente in der CVD von 2D Materialien wurde auch untersucht. In dieser Arbeit konnte die Rolle von flüssigen Metallsubstraten für die ersten Experimente dieser Art untersucht werden. Die Reaktion zwischen flüssigem Metallsubstrat und drei repräsentativen Übergangsmetallalkoxiden konnte analysiert werden und Unterschiede zu Siliziumsubstraten aufgezeigt werden. Die Experimente können als eine Grundlage für die zukünftige Verwendung von niedrig schmelzenden Metallen in der CVD dienen.

The present thesis is the first step into the less-investigated field of chemical vapour deposition on molten metals. Transition metal alkoxides were used to investigate the impact of molten metallic substrates on decomposition reactions in a comparative nature. The role of liquid metals as substrate and reactive component in CVD of 2D materials was also investigated. In this thesis the role of low temperature melting liquid metallic substrates could be investigated for first of its kind experiments. The reactions between liquid metallic substrate and three representative transition metal alkoxides could be analysed and the differences in comparison to silicon substrates confirmed. The experiments may serve as a foundation for future experiments on the possible usage of low temperature melting liquid metals in CVD.