ISBN 978-3-8439-0776-7

978-3-8439-0776-7, Reihe Regenerative Energien

Sebastian Mack
Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik

201 Seiten, Dissertation Universität Konstanz (2012), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Im Rahmen dieser Doktorarbeit wurden thermische Oxidationsprozesse entwickelt und optimiert und in verschiedene Prozesssequenzen zur Herstellung von großflächigen Si-Solarzellen implementiert, bei denen mindestens eine Si-Oberfläche durch eine thermische SiO2-Schicht passiviert ist. Für die entwickelten Solarzellenstrukturen erfolgte ein Vergleich mit der konventionellen Al-BSF-Solarzellenstruktur ohne thermischen Oxidationsprozess und eine Bewertung hinsichtlich ihrer Kennliniengrößen. Die thermischen SiO2-Schichten und die Si/SiO2-Grenzfläche wurden eingehend charakterisiert und der Einfluss des Oxidationsprozesses auf vorhandene Dotierprofile und dielektrische Schichten beschrieben. Des Weiteren wurde untersucht, wie sich dem Oxidationsprozess vor- und nachgelagerte Prozessschritte auf die thermische SiO2- Schicht auswirken und zu Änderungen an der Si/SiO2-Grenzfläche führen. Ein starker Fokus der Arbeit lag insbesondere auf der Entwicklung industriell umsetzbarer Prozesse und Prozesssequenzen.