ISBN 978-3-8439-0808-5

978-3-8439-0808-5, Reihe Ingenieurwissenschaften

Julia Amthor
Strukturen und Technologien für abstimmbare mikrophotonische Systeme in SOI

161 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2012), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser Arbeit werden die Technologieentwicklung und die Realisierung von Systemen zur dynamischen Anpassung von Resonanzwellenlänge und Polarisation in photonischen Silicon-on-Insulator (SOI)-Wellenleitern präsentiert. Zur dynamischen Anpassung der Resonanzwellenlänge verlaufen die photonischen Si-Wellenleiter auf freistehenden SiO2-Membranen. Die Membranen erlauben sowohl optische, thermische als auch mechanische Entkopplung der Systeme vom Substrat und zueinander. Metallstrukturen ermöglichen die Aufheizung der Membranen und der Wellenleiter sowie die elektrostatische Auslenkung der freistehenden Strukturen. Die Abstimmung kann so dynamisch über den thermo-optischen oder den elasto-optischen Effekt erfolgen. Es wird eine Prozessfolge vorgestellt, die die Realisierung eines geraden Übergangs zwischen freistehender SiO2-Membran und Siliziumsubstrat trotz isotropen Unterätzens ermöglicht. Ein thermo-optischer MZI-Schalter mit einer Heizleistung von 5 mW wird präsentiert. Zusätzlich wird eine Herstellungssequenz für die Realisierung von dynamischen Polarisationsdrehern gezeigt.