ISBN 978-3-8439-0895-5

978-3-8439-0895-5, Reihe Mikrosystemtechnik

Stefan Vonderschmidt
Paramagnetischer Sauerstoffsensor in Mikrosystemtechnik

129 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2012), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Diese Arbeit beschreibt die Entwicklung eines paramagnetischen Sauerstoffsensors in Mikrosystemtechnik. Sauerstoff ist aufgrund seiner Elektronenkonfiguration ein paramagnetisches Gas – in einem inhomogenen magnetischen Feld wirkt auf Sauerstoff eine Kraft in Richtung des Feldgradienten. Diese magnetische Eigenschaft wird ausgenutzt, um den Sauerstoff von seiner ursprünglichen Bahn in einen Messkanal abzulenken, in dem mittels Thermoanemometern die Flussgeschwindigkeit gemessen wird. Diese Flussgeschwindigkeit ist proportional zur Sauerstoffkonzentration und dient damit als Messsignal. Durch die günstige Herstellung mit Verfahren der Mikrosystemtechnik, sowie der damit einhergehenden Miniaturisierung, sollen neue Anwendungsfelder erschlossen werden.