ISBN 978-3-8439-1468-0

978-3-8439-1468-0, Reihe Elektrotechnik

Robert Derix
Nutzung von überkritischem CO₂ für die Metallabscheidung in der Mikrosystemtechnik: Anlagen- und Prozessentwicklung

138 Seiten, Dissertation Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen (2014), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser wissenschaftlichen Arbeit wird ein neuartiges Metallisierungsverfahren vorgestellt, das die besonderen Eigenschaften von überkritischem Kohlendioxid nutzt, um Metalle auf Halbleitersubstraten abzuscheiden.

Dabei wird sowohl die Anlagenentwicklung als auch die Prozessentwicklung der überkritischen Metallabscheidung (Supercritical Fluid Deposition, SFD) betrachtet.

Während die meisten SFD-Arbeitsgruppen die Halbleitertechnik ansprechen, werden in dieser Arbeit Anwendungen in der Mikrosystemtechnik untersucht.

Neben dem Aufbau einer industrienahen Prototypenanlage wurden auch die Metalle Kupfer, Ruthenium und Platin erfolgreich abgeschieden. Im Ausblick werden weitere Anwendungsgebiete und mögliche Weiterentwicklungen der Technologie aufgezeigt.