ISBN 978-3-8439-1822-0

978-3-8439-1822-0, Reihe Mikrosystemtechnik

Henning Wehrs
Entwicklung von Vakuumpumpen in Mikrosystemtechnik

170 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2014), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser Arbeit wurden zwei Konzepte hinsichtlich einer mikrosystemtechnischen Umsetzung einer Vakuumpumpe untersucht: Für eine quasikontinuierlich arbeitende Mikrosorptionspumpe wurde ein detailliertes Herstellungskonzept erarbeitet und an einer in konventioneller Technik aufgebauten miniaturisierten Pumpe verifiziert. Das zweite untersuchte Konzept ist das der Strahlpumpe. Alle Komponenten, die zum Aufbau einer Mikrostrahlpumpe notwendig sind, wurden erfolgreich hergestellt, charakterisiert und zu einem Gesamtsystem kombiniert.