ISBN 978-3-8439-2440-5

978-3-8439-2440-5, Reihe Mikrosystemtechnik

Maria Reinhardt-Szyba
Komponenten zur Erhöhung von Auflösung und Empfindlichkeit eines planar integrierten Mikromassenspektrometers

175 Seiten, Dissertation Technische Universität Hamburg-Harburg (2015), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Massenspektrometer sind wichtige Instrumente bei der physikalischen und chemischen Analyse. Es werden die Komponenten vorgestellt, die die Sensitivität und das Auflösungsvermögen eines planar integrierten Mikromassenspektrometers (PIMMS) beeinflussen. Hierbei wird erstmals auf Messungen eines in Mikrosystemtechnik hergestellten Sekundärelektronenvervielfachers eingegangen. Das PIMMS zeichnet sich durch seine sehr geringe Größe aus.

Die Strukturen und die Herstellung des PIMMS-Chips in Mikrosystemtechnik werden dargestellt. Das System wird analysiert und charakterisiert mittels Simulationen und Messungen. Es wird gezeigt, welchen Einfluss die Messumgebung durch Messprozeduren und durch eine softwaregestützte Auswertung auf die Spektren hat.