ISBN 9783843914949

978-3-8439-1494-9, Reihe Physik

Michael Jaax
Optische und Terahertz Galois-Streuscheiben

169 Seiten, Dissertation Technische Universität Kaiserslautern (2013), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Galois-Streuscheiben sind seit mehreren Jahrzehnten aus der Akustik bekannt. Sie finden Anwendungen zur Verbesserung des Klangeindrucks in Opernsälen. Dies gelingt durch Unterdrückung der spekularen Reflexion und einer gleichmäßigen Verteilung der aus dem spekularen Peak herausgestreuten Intensität auf eine definierte Anzahl an Beugungsordnungen. Galois-Streuscheiben sind Beugungsgitter, die auf einer Anordnung von Subwellenlängenstrukturen nach einer Pseudozufallszahlenfolge basieren.

Die hier vorliegende Arbeit greift die Idee der Galois-Streuscheibe auf und überträgt sie erfolgreich in den optischen Wellenlängen- und in den Terahertz-Frequenz-Bereich. Somit empfehlen sich Galois-Streuscheiben auch in diesen Wellenlängen- und Frequenzbereichen als sehr gute Oberflächendiffusoren. Die Fertigungsprozesse zur Herstellung optischer Galois-Streuscheiben basieren hierbei u.a. auf elektronenstrahllithografischer Strukturierung von Fotolacken, metallischen Abscheideprozessen und Trockenätzverfahren. Zur Fertigung von Galois-Streuscheiben im Terahertz-Frequenzbereich wurde eine Prozesskette entwickelt, die u.a. auf Fotolithografie, Galvanik sowie Läpp- und Poliertechnologie basiert.