ISBN 978-3-8439-5517-1

978-3-8439-5517-1, Reihe Physik

Manuel Müller
The fabrication of hollow nanochannel resonators via UV-imprinting and conformal gas phase deposition

221 Seiten, Dissertation Universität Hamburg (2024), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser Doktorarbeit wird ein neuartiges Konzept zur Herstellung von suspendierten Nanokanal Resonatoren als dynamisch mechanischer Biosensor vorgestellt. Die neue Herstellungsmethode umfasst die Herstellung von Polymerproben mit Mikro- und Nanokanälen mithilfe von UV-Nanoimprinting, die konformale Beschichtung von Innen mit Al2O3 über ein in dieser Arbeit entwickeltes Gasphasenabscheidungskonzept, sowie die selektive Suspension der Nanokanäle mit maskiertem reaktiven Ionenätzen. Eine experimentelle Charakterisierung der mechanischen Resonatoren wird unterstützt von COMSOL FEM Simulationen.